爱德华真空泵维修 iH80系列维修

iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59000908 iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59000945 iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59000946 iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59000957 Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照较高工作标准运行。

通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时较大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。 Edwards iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。 应用 负载锁 输送 计量 平版印刷 PVD 制程 PVD 预清洁 RTA 剥离/灰化 刻蚀 植入源 HDP CVD RTP SACVD MCVD PECVD LPCVD ALD 功能和优势 优化了设施消耗。 *预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。 在节省电机功率的同时较大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**。

整体式轴杆*使用电机联结器，而*五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。 峰值速度: 103 m3h-1 61 cfm 1717 l min-1 极限真空: 1 x 10-2 mbar 7.5 x 10-3 Torr 1 Pa 典型轴封氮流量: 4 slm 进气口连接: ISO63 出口连接: NW40 15 psi 压降下典型冷却水流量: 120 l h-1 2 l min-1 重量: 240 kg 极限功率输入: 2.7 kW 电机额定功率: 3.5 kW 油容量: 0.7 l