清洁/干燥
适合清洁/干燥应用的 Edwards RV 泵的主要优点
*特的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
配备可选的油回收套件,可确保在高流量下,油保持在泵内
*的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
通过油压来控制打开状态,从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
获得**的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用,可以安装一个可选的油回收套件,以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。
氧化剂
适合泵送氧化剂的 Edwards RV 泵的主要优点:
任何旋转式叶片泵的较高气镇流量
允许稀释泵送的气体以便较大限度地减少油的氧化
提供 PFPE 选配型
适合泵送氧气和卤代化合物
RV 泵的高气镇允许更高的氧气流量,同时保持稀释到爆炸下限以下。在与可选的油回收套件配合使用时可防止气镇将所有油吹入到废气,与备有 PFPE 的泵配合使用时可避免油被氧化,RV 泵是适合泵送氧气的可靠泵。同样,这些特性使得 RV 泵适用于泵送其他氧化剂,如卤素和卤代化合物。对于这些化合物,着火/爆炸不是问题,但气镇仍可用于稀释以保护油和轴承。应使用 PFPE 以延长油的寿命。
真空泵维修--如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等
真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若环境不允许,应选择无振动的泵或者采取减震措施。
旋片式真空泵地域性现在大部分国内产品都面临有配件没技术,有技术没配件的窘境,因为原材料地域性问题存在,导致旋片式真空泵价格参差不齐。