真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若环境不允许,应选择无振动的泵或者采取减震措施。
这些 坚固耐用的真空泵提供**的极限性能,同时拥有良好的 抽取速度以及出色的蒸汽处理能力,而且运行安静。Edwards RV 系列真空泵已售出**过 200,000 台, 为行业树立了新标准。这一成功基于在广泛的应用和环境中 经过现场验证的设计和可靠性。
高蒸汽处理能力:
更快的制程
出色的微粒处理能力:
高可靠性
快动式可靠入口阀可实现防反吸保护:
安全制程和系统
模式选择器和双位气镇:
经过专门配置以满足您的真空需求
针对便于维护而设计:
无计划外停机
运转安静:
工作环境更好
主要特性和优势
湿泵
适合“湿式”应用的 Edwards RV 泵的主要优点:
任何旋转式叶片泵的较高蒸汽泵送能力
*特的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
任何旋转式叶片泵的较高气镇流量提供 220g/hr(在 RV12 上为 290g/hr)的水蒸汽处理能力
配备可选的油回收套件,可确保在高流量下,油保持在泵内
对于溶剂/蒸汽与氟橡胶 (FKM) 密封不兼容的应用,提供腈 (Buna-N) 转换套件。另外,泵送大量氧化剂时,可以订购备有 PFPE 的泵。
多尘
适合“多尘”应用的 Edwards RV 泵的主要优点
*的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中
通过油压来控制打开状态,从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些竞争对手的泵的油路直径不足 1mm
Edwards 的 RV 泵系列利用半导体行业的 PVD 和 CVD 应用经验而设计,适用于多尘应用。
真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
旋片式真空泵技术含量众所周知,技术成熟程度、高标准加工生产设备制造生产出来的产品其性能的稳定性,可靠性以及寿命都是有影响。