清洁/干燥
适合清洁/干燥应用的 Edwards RV 泵的主要优点
*特的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
配备可选的油回收套件,可确保在高流量下,油保持在泵内
*的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
通过油压来控制打开状态,从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
获得**的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用,可以安装一个可选的油回收套件,以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。
氧化剂
适合泵送氧化剂的 Edwards RV 泵的主要优点:
任何旋转式叶片泵的高气镇流量
允许稀释泵送的气体以便大限度地减少油的氧化
提供 PFPE 选配型
适合泵送氧气和卤代化合物
RV 泵的高气镇允许更高的氧气流量,同时保持稀释到爆炸下限以下。在与可选的油回收套件配合使用时可防止气镇将所有油吹入到废气,与备有 PFPE 的泵配合使用时可避免油被氧化,RV 泵是适合泵送氧气的可靠泵。同样,这些特性使得 RV 泵适用于泵送其他氧化剂,如卤素和卤代化合物。对于这些化合物,着火/爆炸不是问题,但气镇仍可用于稀释以保护油和轴承。应使用 PFPE 以延长油的寿命。
这些 坚固耐用的真空泵提供**的极限性能,同时拥有良好的 抽取速度以及出色的蒸汽处理能力,而且运行安静。Edwards RV 系列真空泵已售出**过 200,000 台, 为行业树立了新标准。这一成功基于在广泛的应用和环境中 经过现场验证的设计和可靠性。
高蒸汽处理能力:
更快的制程
出色的微粒处理能力:
高可靠性
快动式可靠入口阀可实现防反吸保护:
安全制程和系统
模式选择器和双位气镇:
经过专门配置以满足您的真空需求
针对便于维护而设计:
无计划外停机
运转安静:
工作环境更好
主要特性和优势
湿泵
适合“湿式”应用的 Edwards RV 泵的主要优点:
任何旋转式叶片泵的高蒸汽泵送能力
*特的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
任何旋转式叶片泵的高气镇流量提供 220g/hr(在 RV12 上为 290g/hr)的水蒸汽处理能力
配备可选的油回收套件,可确保在高流量下,油保持在泵内
对于溶剂/蒸汽与氟橡胶 (FKM) 密封不兼容的应用,提供腈 (Buna-N) 转换套件。另外,泵送大量氧化剂时,可以订购备有 PFPE 的泵。
多尘
适合“多尘”应用的 Edwards RV 泵的主要优点
*的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中
通过油压来控制打开状态,从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些竞争对手的泵的油路直径不足 1mm
Edwards 的 RV 泵系列利用半导体行业的 PVD 和 CVD 应用经验而设计,适用于多尘应用。
真空泵维修--如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等
我们在使用真空泵时可能会遇到问题,比如冒烟和喷油,这时需要我们有一定的处理的经验,接下来给大家介绍一下相关的事项。
**,真空泵冒烟是因为真空泵有水分,油雾分离器的老化没有做好保养,我司专业维修技术人员推荐一般要在三个月及时更换油、油格、油雾分离器、风格。
*二,保养要做到位不然也会影响到真空泵的冒烟、噪音大。
*三,喷油,说明进气口外有大量的漏点,甚至是进气口暴露大气。解决之道:封住泵的进气口使泵运转,如果不喷油的话,说明有漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换坏的排气阀。 大家在遇到真空泵的冒烟和喷油的情况时可以参考以上内容,掌握一些问题的解决办法是非常有必要的,可以快速进行排除,保证工作顺利进行。
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