进口真空泵维修,进口真空泵油,进口真空泵配件E2M275大型真空泵结构性能好,爱德华真空泵维修保养也有技巧的
这些 坚固耐用的真空泵提供**的极限性能,同时拥有良好的 抽取速度以及出色的蒸汽处理能力,而且运行安静。Edwards RV 系列真空泵已售出**过 200,000 台, 为行业树立了新标准。这一成功基于在广泛的应用和环境中 经过现场验证的设计和可靠性。
高蒸汽处理能力:
更快的制程
出色的微粒处理能力:
高可靠性
快动式可靠入口阀可实现防反吸保护:
安全制程和系统
模式选择器和双位气镇:
经过专门配置以满足您的真空需求
针对便于维护而设计:
无计划外停机
运转安静:
工作环境更好
主要特性和优势
湿泵
适合“湿式”应用的 Edwards RV 泵的主要优点:
任何旋转式叶片泵的高蒸汽泵送能力
*特的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
任何旋转式叶片泵的高气镇流量提供 220g/hr(在 RV12 上为 290g/hr)的水蒸汽处理能力
配备可选的油回收套件,可确保在高流量下,油保持在泵内
对于溶剂/蒸汽与氟橡胶 (FKM) 密封不兼容的应用,提供腈 (Buna-N) 转换套件。另外,泵送大量氧化剂时,可以订购备有 PFPE 的泵。
多尘
适合“多尘”应用的 Edwards RV 泵的主要优点
*的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中
通过油压来控制打开状态,从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些竞争对手的泵的油路直径不足 1mm
Edwards 的 RV 泵系列利用半导体行业的 PVD 和 CVD 应用经验而设计,适用于多尘应用。
爱德华真空泵维修--真空泵选型,
首先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等;如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等;如抽取气体还有腐蚀性,则须选用材质;若抽取的气体具有爆炸性,则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机,因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何,如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵如水环式真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空设备或者零部件对油污染的要求,若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等,若要求不严格,可以选择有油泵,并且加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
喷油,说明进气口外有大量的漏点,甚至是进气口暴露大气。
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